产品展示

联系我们/ CONTRAT US

联系电话::15211186389

QQ:455366265

地址:长沙市岳麓区天马路科教新村5区三栋304(大学城办事处)

产品展示 你现在的位置:首页 > CVD系统 >1200℃双温区开启式真空管式炉

1200℃双温区开启式真空管式炉

产品详情

型号:OTF-1200X-80-II-F3LV

产品概述:OTF-1200X-80-II-F3LV是一款通过CE认证的双温区管式炉CVD系统,其管径为80mm,采用双旋片机械泵,供气系统为三路浮子供气系统,可以混合1-3种气体,其真空度可达到 10-2 torr.

免责声明: 本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅用于宣传用途,仅供参考。由于更新不及时和网站不可预知的BUG可能会造成数据与实物的偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您谅解。 如果您需要下载产品的电子版技术文档,说明书(在线阅览),装箱单,与售后安装条件等文件,请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户,购买前请与工作人员沟通,以免给您带来不便。
技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
壳体结构

· 双层壳体结构,并带有分冷

内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿


功率

 2.5 KW


电压

AC 208-240V单相, 50/60 Hz


加热元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo


最高工作温度

1200 ℃


连续工作温度

 1100 ℃


最大升温速率

≤20 ℃ /min


炉管尺寸和材质

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm


加热区长度

· 两个加热区:  每个温区200 mm (8")  

总加热区长度400 mm 


温度控制器

· 两个精密的温度控制器,单独的控制两个温区

· PID方式控制,通过PWM固体继电器

· 30 可编程智能温度调节仪,可设置30段升降温程序

· 带有过热和断偶保护

控温仪表操作视频


控温精度

+/- 1 ℃


真空密封系统

· 两个不锈钢密封法兰,法兰上有KF-25接口和法兰上已经安装机械压力表(图片中的蓝表为选配)阀门

· 真空度:通过机械泵真空度可以达到5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr),如想获得更高的真空度可以采用分子泵,真空度可以达到10-5 torr.

·泄漏率< 5 m-torr/min(点击图片查看详细资料)

blob.png

真空泵

采用双旋机械泵,机械泵上安装有油污过滤器,可以过滤真空泵工作时产生的油烟,减少泵油的损耗,保护环境和人体健康,过滤的最小微粒直径为0.3微米。


防腐型真空计

可选:本公司进口的防腐型数字式真空显示计,其测量范围为3.8x10-5  1125 Torr. 不需因测量气体种类不同而需要系数转换。

blob.png

混气系统

· 3个浮子流量计安装在一个移动架上,可以推动,可同时混入三种不同气体。 

· 第一路气体流量范围为10-100 cc/min.  

· 第二路气体流量范围为16-160 cc/min.  

· 第三路气体流量范围为25-250 cc/min.

一个压力表安装在移动加上,压力表直接于移动架内的混气箱相连接 ,来监测混合气体的压力    


阀门

四个不锈钢阀门安装移动架的侧面板上分别在三个气体的入口处


尺寸

· 炉子: 550 x 380 x 520 

移动架: 600x600x597


开门断电

为保证使用安全,该电炉为开门断电设计

blob.png

净重

60KG 


运输重量

600 lbs


质保期

一年质保期,相关耗材除外,如炉管,密封圈等易耗件


质量认证

· CE认证

· 所有电器元件(>24V)都通过UL / MET / CSA认证

若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证   

使用注意事项

· ·炉管内气压不可高于0.02MPa

· ·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全

· ·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态

· ·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

· ·石英管的长时间使用温度<1100℃

·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂,法兰飞出等)