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2通道ALD控制单元
ALD回转炉系统
双通道ALD管式炉系统
大面积双管石墨烯生长
滑动式RTP快速退火炉
单管滑动快速加热冷却
1200℃双管三温区
1200℃双管滑动式四通
1200℃三温区HPCVD系
1100℃双管三温区管式
微型PECVD系统
等离子增强卷对卷线材
卷对卷石墨烯制备管式
小型PECVD管式炉系统
小型滑动PECVD管式炉
双炉体滑动PECVD系统
带有预热系统的滑动PE
滑动式双温区PECVD系
1200℃等离子增强HPCV
三温区1500℃ PECVD系
