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• 工作电源：AC220V，50/60Hz

• 功率：5 KW

• 加热元件：电阻丝

• 最高温度：1200℃ (使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变)（< 1h）

• 长期使用温度：1100℃

• 推荐升温速率:≤ 10℃ /min

• 炉管：高纯石英管：φ100*1400mm

• 总加热区长度：600mm（150+300+150mm）

• PID控温，具有超温及断偶保护

• 控温精度：±1℃

• 输出功率：50-500W最大可调±1%

• RF频率： 13.56MHz，稳定性±0.005%

• 噪声：≤ 55DB

• 冷却：风冷

• 输入功率：1KW  AC 220V

• 电压：AC220V/50Hz

• 功率：23W

• PLC触摸屏控制

• 混气罐尺寸：φ80*120mm

• 工作温度：5~45 ºC

• 最大压力: 3x106 Pa

• 精度: ±1.5% FS

• 线性: ±（0.5-1.5）%F.S.

• 重复精度: ±0.2%F.S.

• 流量范围:

      一路: 1~50 SCCM （甲烷标定）

      二路: 1~200 SCCM （氢气标定）

      三路: 1~200 SCCM （氩气标定）

• 型号：PGC-554-LD

• 测量范围：3.8E-5 to 1125 Torr

• 精度：5×10-4 … 1×10-3 mbar (N2) % of reading ±50 

        1×10-3 … 100 mbar (N2) % of reading ±15 

        100 … 950 mbar % of reading ±5 

        950 … 1050 mbar % of reading ±2.5

• 由双旋机械泵、双层立式油雾过滤器（PE材质）、电阻真空计以及连接管道接头等组成

• 真空泵抽气速率≥4.4L/s

• 极限真空度10-1Pa

• 真空计测量范围10-1Pa-105 Pa

• 采用卷对卷收放卷机构进行铜箔的移动进出料，铜箔的移动速度为1-400mm/min可调；

• 配置一卷约2公斤重的铜箔，铜箔宽度：80mm，铜箔厚度0.025mm；

• 收放卷机构分别放置于管式炉两端真空腔体内，保证铜箔可在密封生长条件下进行运动，实现大规模制备。

• 真空腔室极限真空度 < 5*10-2ttor（冷态下，机械泵抽20分钟）

• 电器元件电压>24V的，可选择通过UL认证

• 2400*600*1400mm

• 400 kg

• 一年保质期，终生维护