三温区1500℃ PECVD系统—OTF-1500X-III-4CV-PE-SL （2019.11.14-科晶实验室审核）

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示  4、配件妥善保管提示

▪ 带有石英观察窗口的不锈钢真空密封法兰，便于观察等离子发光（图1）；

▪ 射频电源可实现等离子增强，从而显著降低实验温度；

▪ 四通道质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控； 

▪ 此款设备可安装控制模块，将温度设置和温度曲线导入到电脑（图2、3）；

▪ 此款设备可选配控温精度为±0.1℃的欧陆仪表（图4）。

▪ 最高工作温度1500℃（<30min）；连续使用温度1400℃；

▪ 三个PID温度控制器及30段可编程温控系统，控温精度：±1℃，带有超温和断偶保护；

▪ 输入电源： 208-240V，AC，单相；最大功率：6.6 KW；

▪ 内炉膛表面涂有美国进口的1760度高温氧化铝涂层，可以提高设备加热效率及反射率，同时延长仪器的使用寿命。（点击图片查看详细资料）

▪ 注意：此设备不标配炉管。购买前请与我们销售确定炉管相关事宜。

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择，以满足不同实验条件的需求。

	300W射频电源	500W射频电源	100W射频电源
输出功率	0-300W可调 （稳定性：±1%）	0-500W可调 （稳定性：±1%）	0-100W可调 （稳定性：±1%）
射频频率	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）	13.56 MHz （稳定性：±0.5%）
匹配	自动匹配	自动匹配	手动匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷却方式	风冷	风冷	风冷
输入电压	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
图片

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵；

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵；

▪ 真空度可达10^-2Torr。

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制（精确度：±0.02%）；

▪ 流量范围:

▪ 电压：208-240V， AC， 50/60Hz；

▪ 气体进出口配件：6mm OD的聚四氟管或不锈钢管；

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出；

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。

▪ 炉体尺寸：550mm L ´380mm W´520mm H

▪ 炉体下端移动柜：1800mm L´600mm W´600mm H

▪ 净重：100 kg

▪ 运输重量：550 kg

▪ CE认证

▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

▪ 如您另外付费，我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证

▪ 一年质保期，终身维护（不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件）