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卷对卷石墨烯制备管式炉系统

产品详情

型号:OTF-1200X-II-PE-RR

产品概述:OTF-1200X-II-PE-RR是一套卷对卷石墨烯制备管式炉系统,设备由卷对卷铜箔收放密封装置,等离子射频电源,1200℃双温区管式炉,质子流量计控制系统及真空机组5部分组成。此设备可用于大面积、高质量石墨烯及其他二维材料的规模化生长。

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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称

卷对卷石墨烯制备管式炉系统—OTF-1200X-II-PE-RR 

产品提示

1、多种配件可选提示   2、特殊设备尺寸设备   3、科晶实验室邀请提示   4、配件妥善保管提示

产品特点

▪ 射频电源可实现等离子增强从而显著降低实验温度;

▪ 质子流量计控制系统可以对气体的输送进行精确的调控;

▪ 收放卷机构别放置于管式炉两端真空腔体内,可保证铜箔在密闭的生长条件下进行运动,可有效的实现大规模制备。

加热炉参数

▪ 最高温度:1100ºC(<30min);连续工作温度:< 1000℃;

▪ 工作电源:AC 220V,50/60Hz,功率:3KW;

• 两个PID温度控制器以及30段可编程温控系统,控温精度:±1℃;

▪ 炉膛保温材料采用高纯氧化铝多晶纤维,并且内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层,可以提高加热效率,反射率及延长仪器的使用寿命。


加热炉图1.jpg    温控仪表.JPG

卷对卷铜箔收放密封装置

▪ 采用卷对卷收放卷机构进行铜箔的移动及进出料,铜箔的移动速度为1-400mm/min可调;

• 配置一卷约5 kg的铜箔,铜箔宽度:65mm,铜箔厚度0.025mm;

• 收卷机构与管式炉之间设置冷却装置用于铜箔的快速冷却;

• 可根据要求提供特定的卷绕速度控制器及密封法兰。


卷对卷.png

石英气体喷嘴

▪ 石英气体喷嘴可将反应气体与缓冲清洗气体分开通入,有效地减少副反应发生,实现高端CVD工艺,如局部控制前体浓度化学气相沉积工艺或单晶二维材料薄膜的生长工艺等。


石英气体喷嘴.png

射频电源

▪ 科晶公司现有不同功率的射频电源可供选择,以满足不同实验条件的需求。



300W射频电源

500W射频电源

100W射频电源

输出功率

0-300W可调

(稳定性:±1%)

0-500W可调

(稳定性:±1%)

0-100W可调

(稳定性:±1%)

射频频率

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

13.56 MHz

(稳定性:±0.5%)

匹配

自动匹配

自动匹配

手动匹配

噪音

<50dB

<50dB

<50dB

冷却方式

风冷

风冷

风冷

输入电压

AC180-250V

AC108-250V

AC110-240V

图片

图片2.jpg 

图片3.jpg 

图片4.jpg

真空系统

▪ 采用TRP-12的双旋真空泵;

▪ KF25卡箍及波纹管用于连接管式炉与真空泵;

▪ 真空度可达10-2Torr。


图片5.jpg

供气系统

▪ 四通道质子流量计控制系统可实现气体流量的精确控制(精确度:±0.02%);

▪ 流量范围:


一路

0-100 sccm

二路

0-200 sccm

三路

0-200 sccm

四路

0-500 sccm


▪ 电压:208-240V, AC, 50/60Hz;

▪ 气体进出口配件:6mm OD的聚四氟管或不锈钢管;

▪ 不锈钢针阀用于手动控制气体进出;

▪ PLC触摸屏可以简便地进行气体流量设置。


图片6.jpg      图片7.jpg

产品尺寸和重量

▪ 整体尺寸:2400 mm L ´600mmW´1250mm H;

▪ 净重:260kg;

▪ 运输重量:500 kg。


设备尺寸.png

认证

▪ CE认证

▪ 所有电器元件通过 UL / MET / CSA认证

▪ 如您另外付费,我们可以保证单台仪器的TUV(UL61010)或CSA 认证


图片1.png

承诺

▪ 一年质保期,终身维护(不包括炉管、硅胶密封圈和加热元件)