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型号:OTF-1200X-III-D5-4
产品概述:OTF-1200X-5-III-D4 是一款三温区的双管炉,其最高工作温度可以达到1200℃,专门针对于用CVD方法在金属箔上生长薄膜物质,如石墨烯、太阳能电池的电极材料和电池电极材料等。
名称 |
1200℃小型三温区开启式管式炉OTF-1200X-III-C
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炉体结构 |
·采用双层壳体结构,并带有风冷系统
·高纯氧化铝纤维作为炉膛材料(表面涂有高温氧化铝涂层,可提高加热效率延长炉膛使用寿命)
·可选购石英管堵及石英坩埚,可增加炉管内洁净度及真空度(图三、四)
·设有开门断电功能,提高实验安全性(图五、六)
·石英炉管:外管直径为 130 mm,内管直径为100mm,使用时把金属箔附在内管壁上用于CVD反应
·双管真空密封法兰,反应气体通过两个管(20mm空隙)流动并进行反应,强制对流空气可以通过中心管进行快速冷却(点击下列图片查看详情)(图七)
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基本参数 |
热偶:K型热偶 建议升温速率:≤10℃/min
温度:1100℃ (1200℃<1h) 电源:AC220,50Hz 最大功率:7KW
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加热区 |
加热区长度:900mm (三温区:229mm+457mm+229mm)
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加热元件 |
掺钼铁铬铝(表面涂有氧化锆涂层,可以极大程度延长使用寿命)
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法兰 |
·采用铰链式法兰和O形密封圈加上机械泵可使真空度达到10-2Torr
·法兰1包含不锈钢针形阀(点击图一查看订购转接头)
·法兰2包含kf5真空接口,方便连接真空泵
·法兰采用水冷法兰。当工作温度超过900°C时,需要使用冷却水(图二)
·可选:您可在我公司选购液相气体发生器,可配合管式炉及CVD系统使用(图三)
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炉管尺寸 |
·高纯石英管尺寸:
·内管尺寸:100 OD x 94 ID x 1800 L (mm)
·外管尺寸:130 OD x 120 ID x 1440 L (mm)
·使用时需放置管堵,点击下图查看详情
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可选 |
·可在我公司选购石墨烯生长铜箔(图一)
·可在我公司选购移动炉架放置设备(图二)
·可在我公司选购质子流量计、真空机组等,支撑设备的同时可向设备内通入各种混合气体(图三)
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密封法兰 |
·一对SS304真空法兰与双高温硅O形环包括在内
·两个针阀已分别安装在两个法兰上(图一)
·一个真空压力表安装在一侧法兰(图一)
·可选:您可以选购kf25真空口法兰(图二)
·可选:您可以订购法兰支架(图三)
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温控系统 |
·包含一款YD518P型温度控制器
·PID自动控温系统
·智能化30段可编程控制
·控温精度:±1℃
·三个温区分别有三个独立的温控系统控制
·默认DB9 PC通信连接端口
·通过MET认证
·可选购电脑温度控制软件(用于YD518P系列控制器)用于控制升温曲线和导出数据
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外形尺寸 |
2100 L x 450W x 630 H mm
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净重 |
约90Kg
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质保期 |
一年保修,终身技术支持。
2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
真空系统 |
·通过机械泵可达到50mTorr(参考值,详情请点击)
·通过分子泵泵可达到10E-5 Torr(参考值,详情请点击)
·可选购一个冷真空阱,以避免真空泵造成污染
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质量认证 |
所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
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使用注意事项 |
·炉管内气压不可高于0.02MPa
·由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,为了确保安全,建议使用压力低于0.02MPa,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加精确安全
·当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当
·进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击
·石英管的长时间使用温度<1100℃
·对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉 管破裂,法兰飞出等)
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应用提示 |
·为了在管式炉内获得准确的温度,在使用前需要校准温度,请点击这里了解如何使用
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