产品展示

联系我们/ CONTRAT US

联系电话::15211186389

QQ:455366265

地址:长沙市岳麓区天马路科教新村5区三栋304(大学城办事处)

产品展示 你现在的位置:首页 > RTP快速加热炉 >900℃带多通道质子流量计控制系统RTP管式炉

900℃带多通道质子流量计控制系统RTP管式炉

产品详情

型号:RTP-1000-LCD

产品概述:RTP1000-LCD是一款4"RTP (快速热处理) 管式炉。包括多通道质子流量计控制系统,在操控的同时,可实时查看气体流量曲线和数据。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达3")退火而设计。 这款设备是采用12KW的红外灯加热,最快升温速度是50℃/秒。 30 段精确温度控制,仪表控温精度是 +/-1℃。RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。


免责声明: 本站产品介绍内容(包括产品图片、产品描述、技术参数等)仅用于宣传用途,仅供参考。由于更新不及时和网站不可预知的BUG可能会造成数据与实物的偏差,请勿复制或者截图。如果您对参数有异议,或者想了解产品详细信息及更多参数,请与本公司销售人员联系。本站提供的信息不构成任何要约或承诺,请勿将此参数用于招标文件或者合同,公司会不定期完善和修改网站任何信息,恕不另行通知,请您谅解。 如果您需要下载产品的电子版技术文档,说明书(在线阅览),装箱单,与售后安装条件等文件,请点击上方的附件下载模块中选取。商城产品仅针对大陆地区客户,购买前请与工作人员沟通,以免给您带来不便。
技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称

900℃带多通道质子流量计控制系统RTP管式炉—RTP-1000-LCD (2019.12.24—科晶实验室审核)

产品提示

1、多种配件可选提示 2、科晶实验室邀请提示 3、配件妥善保管提示


主要特点

· 快速升温,最高达50℃/s。

· 配有多通道质子流量计控制系统,在操控的同时,可实时查看气体流量曲线和数据。

· 超大管径φ110mm。

· 最高温度可达900℃。

· 法兰上安装有滑轨可直接推拉操作。

· 开门断电。

基本参数

· 工作温度:最高900℃(<10min);800℃(<30min);600℃(长期)

· 最快升温速率:室温~800℃: 50 ℃/s,800℃~900℃: 10℃/s

· 法兰:KF-25D型不锈钢高真空法兰

· 加热区长度:190mm

· 加热元件:8根红外灯管(每根1.5KW)

· 最大功率:12KW(>60A 保险)

· 设备电源:AC220V/50HZ 单相

· 循环水流量:0.5 m3/h

· 标配流量计量程范围:16-160 ml/min

· 多通道质子流量计系统参数

· 输入电压:AC 220V/50Hz单相

· 功率:23W



产品

二通道

三通道

四通道

五通道

工作温度

5-45℃

5-45℃

5-45℃

5-45℃

最大压力

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

3*10^6 Pa

精度

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

±1.5% FS

重复精度

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

±0.2%FS

流量范围

一路:1~199 SCCM

二路:1~199 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

一路:0~100 SCCM

二路:1~199 SCCM

三路:1~199 SCCM

四路:1~499 SCCM

注意

其他流量范围的可定制(0~100 、1~200 、1~500 、1~1000 、1~2000 、1~5000 SCCM),需额外费用

五-九路可按照客户要求定制

多通道质子流量计控制系统

· 适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。

· 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。

· 采用触摸屏来控制气体的流量,显示流量准确,方便操作。

· 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。

真空法兰

· 不锈钢真空法兰安装在炉管的两端,便于组装,法兰上有1/4英寸直径的通孔,用于插入K型热电偶。

· 热电偶:K型,热电偶的头部从下方接触氮化铝样品架。

温控系统

· 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序

· 温控仪表中带有过热和断偶保护

· 仪表控温精度: +/- 1°C

· 热电偶型号:K型

开门断电

· 为保证使用安全,该电炉为开门断电设计


认证

· 所有电气部件均为UL认证,并可通过TUV、CSA认证


质保

· 一年保修,终身技术支持。
· 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

国家专利

· 专利名称:一种快速高温退火炉

· 专利编号:ZL-2011-2-0077168.4

· 尊重创新:鄙视抄袭、侵权必究