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型号:RTP-1000-LCD
产品概述:RTP1000-LCD是一款4"RTP (快速热处理) 管式炉。包括多通道质子流量计控制系统,在操控的同时,可实时查看气体流量曲线和数据。他专为半导体基片和太阳能电池或其他样品(尺寸可达3")退火而设计。 这款设备是采用12KW的红外灯加热,最快升温速度是50℃/秒。 30 段精确温度控制,仪表控温精度是 +/-1℃。RS485接口和控制软件可以通过计算机控制炉子运行并显示温度曲线。
设备名称 |
900℃带多通道质子流量计控制系统RTP管式炉—RTP-1000-LCD (2019.12.24—科晶实验室审核) |
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产品提示 |
1、多种配件可选提示 2、科晶实验室邀请提示 3、配件妥善保管提示
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主要特点 |
· 快速升温,最高达50℃/s。 · 配有多通道质子流量计控制系统,在操控的同时,可实时查看气体流量曲线和数据。 · 超大管径φ110mm。 · 最高温度可达900℃。 · 法兰上安装有滑轨可直接推拉操作。 · 开门断电。 |
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基本参数 |
· 工作温度:最高900℃(<10min);800℃(<30min);600℃(长期) · 最快升温速率:室温~800℃: 50 ℃/s,800℃~900℃: 10℃/s · 法兰:KF-25D型不锈钢高真空法兰 · 加热区长度:190mm · 加热元件:8根红外灯管(每根1.5KW) · 最大功率:12KW(>60A 保险) · 设备电源:AC220V/50HZ 单相 · 循环水流量:0.5 m3/h · 标配流量计量程范围:16-160 ml/min · 多通道质子流量计系统参数 · 输入电压:AC 220V/50Hz单相 · 功率:23W
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多通道质子流量计控制系统 |
· 适用于低压小流量,多种气体单一/混合连续供气系统。尤其方便多种气体的切换使用,而不会造成大气进入加热管。 · 气体压力和流量数据在同一平面直观可读,外形美观、实用,操作简便。 · 采用触摸屏来控制气体的流量,显示流量准确,方便操作。 · 所有仪表及阀门的连接均采用活接头连接,便于维修拆卸。 |
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真空法兰 |
· 不锈钢真空法兰安装在炉管的两端,便于组装,法兰上有1/4英寸直径的通孔,用于插入K型热电偶。 · 热电偶:K型,热电偶的头部从下方接触氮化铝样品架。 |
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温控系统 |
· 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序 · 温控仪表中带有过热和断偶保护 · 仪表控温精度: +/- 1°C · 热电偶型号:K型 |
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开门断电 |
· 为保证使用安全,该电炉为开门断电设计
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认证 |
· 所有电气部件均为UL认证,并可通过TUV、CSA认证
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质保 |
· 一年保修,终身技术支持。 2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。 |
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国家专利 |
· 专利名称:一种快速高温退火炉 · 专利编号:ZL-2011-2-0077168.4 · 尊重创新:鄙视抄袭、侵权必究 |
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