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900℃ 双温区RTP炉

产品详情

型号:OTF-1200X-IR-IISL

产品概述:OTF-1200X-IR-IISL是一款双温区红外加热快速热处理炉,其炉管直径为4英寸。此款设备可使样品最大升温速率达到50℃/S,此款设备不仅可对样品进行快速热处理,还可采用HPCVD方法来生长二维晶体(一个加热区用来盛放固体蒸发原料,另一个加热区用于沉积样品)。

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技术参数实验案例警示/应用提示配件详情
设备名称

900℃双温区RTP炉——OTF-1200X-IR-IISL (2019.12.24—科晶实验室审核)

产品提示

1、多种配件可选提示   2、科晶实验室邀请提示   3、配件妥善保管提示

主要特点

· 采用短波红外灯管对样品加热,可达到快速加热的效果。

· 双温区快速升温,最高达50℃/s。

· 超大管径φ110mm。

· 最高温度可达900℃。

· 双层壳体结构,并带有风冷系统,可有效降低壳体表面温度。

· 内炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长仪器的使用寿命。

· 法兰上安装有滑轨可直接推拉操作。

· 开门断电,提高实验安全性。

· 可选装波纹管推拉式伸缩架,样品架可在内部伸缩式波纹管中滑动,实现在真空或受控气氛下实现快速加热或冷却。

基本参数

· 工作温度:最高900℃(<10min);800℃(<30min);600℃(长期)    

· 最快升温速率:室温~800℃: 50 ℃/s,800℃~900℃: 10℃/s

· 法兰:KF-25D型不锈钢高真空法兰                          

· 加热元件:16根红外灯管(每根1.5KW)    

· 最大功率:24KW      

· 设备电源:AC220V/50HZ 单相 

· 循环水流量:0.5 m3/h

真空法兰

· 不锈钢真空法兰安装在炉管的两端,便于组装,法兰上有1/4英寸直径的通孔,用于插入K型热电偶。

· 法兰端提供多种接头可选,具体请咨询销售。


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温控系统

· 采用PID方式调节温度,可设置30段升降温程序

· 温控仪表中带有过热和断偶保护

· 仪表控温精度: +/- 1°C

· 热电偶型号:K型

开门断电

· 为保证使用安全,该电炉为开门断电设计


  

认证

· 所有电气部件均为UL认证,并可通过TUV、CSA认证

· CE certified 此设备已荣获国家知识产权专利

质保

· 一年保修,终身技术支持。
· 特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩埚等不包含在内。

             2.因使用腐蚀性气体和酸性气体造成的损害不在保修范围内。

国家专利

· 专利名称:一种快速高温退火炉

· 专利编号:ZL-2011-2-0077168.4

· 尊重创新:鄙视抄袭、侵权必究