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型号:VTF-1200X-III-TSSG
产品概述:VTF-1200X-III-TSSG是一款3温区顶部籽晶助熔剂法(TSSG)晶体生长炉。此设备主要由3部分组成:3温区加热炉(炉膛尺寸为:Φ127mm×600mm,最高温度为1200℃),温控系统可设置28段温度程序段,控温精度±1℃和精密旋转提拉机构,其提拉速度为0.8-50mm/hour.
炉体 |
3温区加热: 150mm+300mm+150mm,三个温区由独立的温控系统控制,可创造出较大的温度梯度 最高工作温度: 1200℃(小于1小时) 连续工作温度: 1100ºC 功率: 208V- 240V AC, 50/60Hz, 单相 最大功率: 5KW
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控制面板 |
· PLC触摸屏控制面板,可设置和控制提拉行程,提拉速度和旋转速度等 · 温控系统:可设置28段温度段,采用PID方式调节温度,其控温精度为±0.1℃ · 升温速率: 0~10ºC / min · 提拉速度: 0.8-50mm/h (可调) · 下降速度: 40 mm/minute · 籽晶杆转速: 0.1-23 RPM(可调)
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最大提拉行程 |
300mm
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加热腔体 |
· 腔体直径为Φ135mm(设计为开启式),最大可直径为Φ80mm的坩埚 · 加热区长度600mm 可选购真空密封件:直径为Φ127mm的石英管和密封法兰
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设备尺寸 | |
质保 |
一年质保期,终身维护(不包含炉管,密封圈和加热元件等耗材)
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认证 |
CE认证 |
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