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4路质子混气管式PECVD
1200°C二通道混气高
1700°C九通道混气高
1700°C二通道混气高
1200℃三温区CVD系统
1200℃1英寸双温区管
1200℃双温区开启式真
1200℃单温区三通道混
1200℃微型二通道混气
1700℃单温区三通道混
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GF14Q箱式气氛炉
FH-36型箱式气氛炉
箱式气氛炉GF11Q